在陶瓷基板金属化领域,直接镀铜(DPC)技术因其卓越的高线路精度(线宽/线距≤50μm)、优异的导热性(如氮化铝基板热导率≥170W/mK)及低温制程特性(<300℃),已成为大功率半导体封装的首选方案
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在陶瓷基板金属化领域,直接镀铜(DPC)技术因其卓越的高线路精度(线宽/线距≤50μm)、优异的导热性(如氮化铝基板热导率≥170W/mK)及低温制程特性(<300℃),已成为大功率半导体封装的首选方案
本文提出基于直接镀铜(DPC)技术的陶瓷基板制造新工艺,重点攻克大功率LED散热通孔的高可靠性填充难题。
薄膜电路陶瓷封装基板采用磁控溅射薄膜沉积结合电镀增厚技术制造。该工艺首先在高导热陶瓷基体表面进行薄膜金属化,并通过影像转移技术精确形成2D金属线路。
DPC基板(直接镀铜陶瓷基板)脱颖而出,其具备高导热性能,能够快速将热量传导出去;拥有高精度线路,可确保电路连接的稳定性和可靠性;还具备优异的平整度,有利于保证封装的质量和性能
陶瓷基板是指铜箔在高温下直接键合到氧化铝(Al2O3)或氮化铝(AlN)陶瓷基片表面( 单面或双面)上的特殊工艺板。所制成的超薄复合基板具有优良电绝缘性能,高导热特性,优异的软钎焊性和高的附着强度,并可像PCB板一样能刻蚀出各种图形,具有很大的载流能力。
陶瓷覆铜板按照工艺一般可分为:DPC(直接电镀陶瓷基板)、DBC(直接覆铜陶瓷基板)和AMB(活性金属钎焊陶瓷基板),具有导电互联、电气绝缘、散热通道和机械支撑等优良功能。其中DBC和AMB在功率半导体中被大量应用。
DPC 陶瓷基板具备高线路精准度、高表面平整度、高绝缘及高导热的特性,在半导体功率器件封装领域迅速占据了重要的市场地位,广泛应用于大功率 LED、半导体激光器、 VCSEL等领域。
在LED的封装领域,陶瓷散热基板是个奇怪的名词,因为陶瓷基板所发挥的功用并不是散热,它只是当作芯片的载具,以及热的传输路径之一而已
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