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EMS，全称"微机电系统"（Micro-Electromechanical Systems），是微型化技术的集大成者，融合了尖端科技如硅基微加工、LIGA（一种高精度三维微结构加工技术）以及精密机械加工等多种制造工艺，并巧妙融入现代信息技术之中，构筑起一个功能强大的微型化系统。
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