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微机电系统MEMS陶瓷封装技术与应用-百能云芯

不同MEMS产品在功能与结构上的多样性,也决定了其制造工艺与封装形式的特异性。在各类封装方案中,陶瓷封装凭借其优异的气密性、良好的热机械性能、高绝缘性以及出色的高温稳定性,在要求高可靠性与长寿命的应用中,通常展现出比金属或塑料封装更佳的综合性能。

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