中芯国际百亿订单有救了

大陆晶圆代工龙头中芯国际今年3月与荷商艾司摩尔（ASML）签约的12亿美元紫外光（DUV）微影设备订单，期限到今年底，却迟迟未有下文。对此，ASML全球副总裁、中国区总裁沈波近日指出，除了极紫外光（EUV）微影设备无法对大陆客户出货之外，其他产品都正常供货。

综合陆媒报道，沈波表示，该公司对大陆出口曝光机维持开放态度，并在合乎法律框架下全力支持，除了EUV机台，其他产品都可以向大陆客户出货，ASML近年出货到大陆市场占全球销量3成，目前在大陆装机量接近1,000台。

至于跟中芯国际的订单进度，沈波并未透露是否受到美国禁令或是施压，也没有对目前到货进度有所说明。


台积电前营运长蒋尚义担任副董事长去年底回中芯国际担任副董事长，外界认为，凭借着蒋尚义当年在台积电与ASML合作关系，扩大取得EUV机台等半导体生产设备的机会，且目前仍未有下文。

目前，大陆半导体产业重度依赖进口的半导体生产设备，绝大多数来自ASML跟Canon，其中ArF微影设备更是ASML独家提供，至于上海微电子声称可以用来生产28奈米制程，但目前主流供应的设备为生产90奈米制程，与中芯国际极度紧缺的28奈米制程相差甚远。

中芯国际去年9月底遭到美国出口管制措施限制，导致美企与中芯国际的业务进行受到限制，甚至在12月底又遭到美国商务部将该公司列入实体清单，明确指出中芯国际无法取得制造10奈米以下制程的半导体生产设备，基于该规定，含有美国半导体产品与技术含量的非美公司也受到牵制。

ASML身为全球独家供应EUV机台的厂商，DUV机台在全球也拥有高市占率，不仅先进制程厂商需要靠其供货才能生产芯片，成熟制程也需要ASML提供服务，才能顺利推动业务。若中芯国际无法取得DUV机台，于北京兴建用以28奈米制程、12寸晶圆厂，以及日前宣布在上海、深圳的扩产计划，预计2023年开出的产能将面临困境。

根据中芯国际在今年3月公告显示，双方2月1日重新签订契约，将原定于2018年1月1日至2020年12月31日期间，延长至2021年12月31日。中芯国际回应，将携手全球产业链伙伴，保证该公司生产连续性及扩产规划不受影响；不过，不确定性依然存在，中芯国际始终坚持依法合规经营，有信心保证公司短期内生产经营不受重大不利影响。根据说明，预计可以取得10台DUV机台，目前情况还得等待中芯国际说明。

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